Model pengukur vakum senyawa ZDF-62B5 terdiri dari 2 set unit pengukur vakum rendah dan 1 set unit pengukur vakum tinggi. Satu unit pengukur resistansi (RG 2) digunakan untuk mencapai pengukuran (1.0 × 10E5Pa~1.0×10E-7Pa) secara independen, unit pengukur resistansi (RG1) dikombinasikan dengan pengukur ionisasi, sebagai unit gabungan, adalah untuk mencapai kontrol dan pengukuran kontinu (1 × 10E5~1×10E-7Pa).