Pompa yang Diangkat Secara Magnetik, CXF-320/3001E, Pendingin air, ISO-F, On board

Deskripsi Singkat:

Bantalan elektromagnetik juga disebut "beruang levitasi magnetik aktif", yang terdiri dari bantalan magnetik, sensor, dan sistem kontrol. Desain ini memiliki respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu, poros berkecepatan tinggi, dan operasi yang andal.


Rincian produk

Tag Produk

Pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah pompa yang porosnya didukung oleh gaya magnet.
Seri pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah peralatan pembangkit vakum yang dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi persyaratan aplikasi untuk bidang manufaktur semikonduktor modern, manufaktur chip, pelapisan industri, dan instrumen ilmiah.

Keuntungan:

1. Nol gesekan selama operasi, dan konsumsi daya rendah
2. Mudah untuk mendapatkan vakum tinggi yang benar-benar bersih dan vakum sangat tinggi tanpa pelumasan untuk pompa
3. Mampu mengekstraksi gas korosif untuk jangka panjang
4. Keamanan tinggi dan masa pakai yang lama karena perlindungan bantalan dengan bola keramik presisi
5. fungsi pembangkit listrik jika mati mendadak
6. Bebas dari gesekan
7. Bebas polusi
8. Bebas perawatan
9. Getaran rendah
10. dipasang dalam orientasi apa pun.

Aplikasi:

Seri pompa molekuler magnetis terutama diterapkan pada bidang manufaktur semikonduktor, pembuatan klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, terutama untuk ekstraksi gas korosif yang ada dalam etsa, CVD, PVD dan implantasi ion dan gas yang mudah digumpalkan pada suhu normal.

Spesifikasi:

Model CXF-320/3001E
Kecepatan Pompa (l / s, Udara) 3200
Rasio kompresi >1×108
Vakum Tertinggi (Pa) 5×10-7
Flensa Masuk ISO-F 320
Outlet Flange KF 40
Kecepatan Rotasi (rpm) 24000
Waktu Run-up (min) 12
VIB (mm) <0,05
Pompa Pendukung (L/s) 15
Pemasangan atau orientasi Setiap
Metode pendinginan Air
Berat (kg) (Dengan Kontroler) 75

Teknologi:

  • Teknologi Kontrol untuk Bantalan Magnetik: sebuah 5-sumbu magnetis levitasi, berdasarkan teori kontrol internasional canggih, untuk menjamin keuntungan yang signifikan dari poros kecepatan tinggi sebagai operasi levitasi stabil dan dapat diandalkan.
  • Teknologi Kontrol Penggerak Motor: Efisiensi tinggi motor DC berkecepatan tinggi dan sistem kontrol servo, memiliki energi maksimum motor dan untuk mengkompensasi kecepatan putar poros secara otomatis, sehingga mewujudkan start-up yang stabil, operasi yang andal, dan fungsi pengaturan otomatis energi dinamis.
  • Teknologi rotor komposit serat karbon: Dibuat dengan menggabungkan paduan aluminium kekuatan tinggi dan serat karbon ringan. ditandai dengan pengurangan berat yang besar dan peningkatan kekuatan yang besar, sehingga target kecepatan putar tinggi, kinerja tinggi, dan keandalan tinggi tercapai.
  • Teknologi tahan korosi: Permukaan bagian dalam chamber diperlakukan dengan proses khusus, sehingga permukaan dapat menahan korosi yang disebabkan oleh gas korosif dalam proses manufaktur semikonduktor untuk waktu yang lama. Selain itu, gas inert seperti N2 diisi penuh dalam poros pompa untuk melindungi bagian vakum rendah di pompa, sehingga fungsi gas korosif yang menguras secara stabil untuk waktu yang lama terwujud.
  • Sistem kontrol suhu pemanas: dilengkapi dengan pemanas listrik dan pengontrol suhu, air pendingin, pemanas udara-tulang, pemanas listrik dan panas yang dibawa oleh gas pelindung dapat dipantau dan dikendalikan selama operasi, suhu di pompa dapat dipertahankan pada nilai tertentu untuk jangka panjang, beberapa gas zat tidak diubah menjadi zat padat pada suhu normal dan tidak disimpan di pompa, dan persyaratan untuk proses khusus seperti pengetsaan dapat dipenuhi.

  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Tulis pesan Anda di sini dan kirimkan kepada kami

    Kategori produk