Pompa yang Diangkat Secara Magnetik, CXF-200/1401E, Pendingin air, On board

Deskripsi Singkat:

Bantalan elektromagnetik juga disebut "beruang levitasi magnetik aktif", yang terdiri dari bantalan magnetik, sensor, dan sistem kontrol. Desain ini memiliki respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu, poros berkecepatan tinggi, dan operasi yang andal.


Rincian produk

Tag Produk

Pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah pompa yang porosnya didukung oleh gaya magnet.
Seri pompa molekuler yang diangkat secara magnetis adalah peralatan pembangkit vakum yang dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi persyaratan aplikasi untuk bidang manufaktur semikonduktor modern, manufaktur chip, pelapisan industri, dan instrumen ilmiah.

Teknologi:

  • Teknologi Kontrol untuk Bantalan Magnetik: Elektromagnetik yang diadopsi adalah 5-sumbu yang diangkat secara magnetis. Desain ini dapat memiliki respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu melalui teknologi kontrol suspensi magnetik sirkuit tertutup aktif dinamis berdasarkan teori kontrol internasional canggih, sehingga dapat menjamin keuntungan signifikan dari poros berkecepatan tinggi sebagai operasi levitasi yang stabil dan andal.
  • Teknologi Kontrol Penggerak Motor: Efisiensi tinggi motor DC kecepatan tinggi dan sistem kontrol servo diterapkan pada seri pompa yang diangkat secara magnetis, sehingga memiliki energi maksimum motor dan untuk mengkompensasi kecepatan putar poros secara otomatis, sehingga mewujudkan start-up yang stabil, operasi yang andal, dan pengaturan otomatis fungsi energi dinamis
  • Teknologi rotor komposit serat karbon: Rotor turbo dari pompa molekul suspensi magnetik serial dibuat dengan menggabungkan paduan aluminium kekuatan tinggi dan serat karbon ringan. Dibandingkan dengan semua rotor paduan aluminium, rotor turbo ditandai dengan pengurangan berat yang besar dan peningkatan kekuatan yang besar, sehingga target kecepatan putar tinggi, kinerja tinggi, dan keandalan tinggi tercapai.
  • Teknologi tahan korosi: Permukaan bagian dalam bilik pompa molekul suspensi magnetik serial diperlakukan dengan proses khusus, sehingga permukaan dapat menahan korosi yang disebabkan oleh gas korosif dalam proses pembuatan semikonduktor untuk waktu yang lama. Selain itu, gas inert seperti N2 diisi penuh dalam poros pompa untuk melindungi bagian vakum rendah di pompa, sehingga fungsi gas korosif yang menguras secara stabil untuk waktu yang lama terwujud.
  • Sistem kontrol suhu pemanas: Seri pompa molekuler levitasi magnet dilengkapi dengan pemanas listrik dan pengontrol suhu, sehingga air pendingin, pemanas tulang udara, pemanas listrik dan panas yang dibawa oleh gas pelindung dapat dipantau dan dikendalikan selama operasi, suhu di pompa dapat dipertahankan pada beberapa nilai untuk jangka panjang, beberapa zat gas tidak diubah menjadi zat padat pada suhu normal dan tidak disimpan di pompa, dan persyaratan untuk proses khusus seperti etsa dapat dipenuhi.

Keuntungannya:

1.Zero gesekan selama operasi, dan konsumsi daya yang rendah

2. Mudah untuk mendapatkan vakum tinggi yang benar-benar bersih dan vakum sangat tinggi tanpa pelumasan untuk pompa

3. Mampu mengekstraksi gas korosif untuk jangka panjang

4. Keamanan tinggi dan umur panjang karena perlindungan bantalan dengan bola keramik presisi

5.fungsi pembangkit daya jika mati mendadak

Spesifikasi:

Model CXF-200/1401E
Kecepatan Pompa (l / s, Udara) 1400
Rasio kompresi >1×107
Vakum Tertinggi (Pa) 2×10-6
Flensa Masuk DN200 ISO F
DN200 ISO CF
Outlet Flange KF 40
Kecepatan Rotasi (rpm) 33000
Waktu Run-up (min) 6
VIB (mm) <0,05
Pompa Pendukung (L/s) 15
Pemasangan atau orientasi Setiap
Metode pendinginan Air
Berat (kg) (Dengan Kontroler) 51

Aplikasi:

Seri pompa molekuler magnetis terutama diterapkan pada bidang manufaktur semikonduktor, pembuatan klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, terutama untuk ekstraksi gas korosif yang ada dalam etsa, CVD, PVD dan implantasi ion dan gas yang mudah digumpalkan pada suhu normal.


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Tulis pesan Anda di sini dan kirimkan kepada kami

    Kategori produk